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CS系列气体质量流量控制器流量计
作者:佚名 日期:2018年01月12日 来源:本站原创 浏览:

核心提示:CS系列气体质量流量控制器流量计   企业与产品CS系列气体质量流量控制器/流量计北京七星华创电子股份有限公司北京七星华创电子股份有限公司的CS系列气体质量流量控制器流量计荣获2008年度中国半导体立异产品和技

CS系列气体质量流量控制器流量计

  企业与产品CS系列气体质量流量控制器/流量计北京七星华创电子股份有限公司北京七星华创电子股份有限公司的CS系列气体质量流量控制器流量计荣获2008年度中国半导体立异产品和技巧奖。

  1立异性和先辈性CS系列气体质量流量控制器流量计是一种可以对多种中小流量气体质量流量的精确测量和控制的设备。该产品具有精度高、响应速度快、密封性好、耐腐化、低零漂和温漂、应用便利等特点。该产品可以实用于8英寸以上半导体IC临盆线、高真空设备等须要数字质量流量控制器的范畴,改变了我国数字质量流量控制器完全依附进口的局面。

  CS系列产品经由过程近两年的研发测试、中试、小批量临盆、客户试用,2008年6月经由过程北京市工业促进局省部级剖断。“产品技巧达到国内领先程度,综合技巧指标达到了国际同类产品技巧程度”。

  CS系列气体质量流量控制器/流量计的立异包含两项原始立异和一项消化接收立异:恒功率传感器技巧传感器部分是气体质量流量控制器的核心部分。今朝广泛采取的是基于恒电流源或类恒电流源的传感器技巧,然则,传感器在制造过程中般很难包管高低游绕组的完全一致。如许往往会导致MFC的零漂现象,这是采取恒电流源传感器体系无法避免的缺点。在CS系列产品中,提出了一种全新的恒功率式传感器技巧,其重要道理是主动反馈电路会主动检查经由过程传感器绕组的电流,增长或者削减供给给绕组的能量,红外光谱仪是利用物质对不同波长的红外辐射的吸收特性,进行分子结构和化学组成分析的仪器,包管绕组的消费能量不变。如许传感器的各个部分以及经由过程传感管的气体,均工作在恒定的情况下,各项特点保持不变,从根本上克制了流量计的零漂现象,同时年夜幅度进步了体系的测量精度、响应速度等多项机能指标。该项立异属于原始立异。

  数字传感器均衡技巧在CS系列产品中,结合恒功率的传感器驱动方法,提出了一种数字式传感器均衡办法,并可以采取持续电压对传感器驱动电压进行温度补偿。该办法极年夜地进步了CS系传记感器产品对于温度漂移的克制。使得CS系列产品可以应用于温度激烈变更的情况。该项立异属于原始立异。

  CS系列产品中的阀控技巧具有多项立异成果,统称为VCP(ValveCorrectPedestal),红外测油仪厂家是一家专业的仪器仪表生产制造商,该项技巧从传感器特点出发,建立传感器的动态响应模型。然后基于该模型,对传感器旌旗灯号进行处理,进步旌旗灯号反馈。

  同机会械部分采取了国际风行的反向进气构造。该构造阀内部的气体逝世驱空间少,阀响应速度快,无磁滞现象。采取高机能单片机处理各类旌旗灯号,并采取特定的控制算法,输出控制旌旗灯号。采取该办法可以有效地进步气体质量流量控制器的品德。体系响应速度快,对于较低的设定值依然能达到优胜的控制后果。

  该立异属于消化接收立异。

  今朝国内还没有高端半导体和真空范畴的数字式气体质量流量控制器,CS系列产品将是我国第一台拥有自立常识产权的高端数字气体质量流量控制器。

  世界上重要的气体质量流量控制器的供给商重要在美国和日本。其重要有美国Celerity公司(其前身是美国Tylan公司和Unit公司)、美国MKS公司、曰本STEC公司和日本AE公司,他们根本垄断了世界上高端数字气体质量流量控制器市场。其与CS系列同类产品为Celerity公司的IN2系列(原Tylan公司产品)和Unit8161系列(原Unit公司产品)、TEC公司的Z500系列、AE公司的Transformer系列、MKS公司的ALTA1480和ALTA180A系列等。这些产品均是今朝的主流产品,占领了流量计高端市场,在半导体、真空等多个范畴获得了广泛的应用。

  CS系列产品与国外同类产品比拟,在重要指标,如精度、反复精度、多气体多量程功能等方面达到了雷同的程度。在零漂、响应时光等方面占领优势。并且CS系列同时支撑单电源和双电源,同时支撑模仿0-5V电压和4-20mA电流,年夜年夜便利了客户的应用。

  CS系列产品是经由过程国际合作研发的新产品,iCAN9傅立叶红外光谱仪可广泛用于医药、化工、食品、石化、珠宝等行业,研发和测试等活动都是在七星电子组织下进行,七星电子对产品有完全自立的常识产权。

  CS系列气体质量流量控制器流量计2008年4月该项目经由过程ECMG的CE认证。2008年6月经由过程北京计量检测科学研究院产品型式剖断,2008年6月经由过程省部级剖断,2008年10月年经由过程ODVA的DeviceNet―致性测试和SEMI标准测试。

  今朝该项目共申报专利11项,个中创造专利3项,已获得专利授权书2项,获得软件挂号1项。

  2应用和市场我国电子信息家当的敏捷成长,已经成为我国公民经济增长最快、产值最高的行业,计算机与通信业高速增长,集成电路也以30%的速度增长。世界集成电路制造业正在向中国转移,中国半导体家当的飞速成长为集成电路设备业带来了广阔的市场。国际半导体设备暨材料协会(SEMI)日前揭橥猜测,估计2006年中国半导体设备支出将从2005年的10亿美元劲增至20.3亿美元,2007年微升至20.5亿美元,而2008年将达到25.6亿美元。20062008年中国集成电路设备总本钱支出66亿美元。

  在半导体设备中,气体质量流量控制器是独一的对气体进行周详测量和控制的零部件。在半导体工艺过程中,很多关键工艺例如外延、CVD、LPCVD、PECVD等都请求对气体的质量流量进行严格的控制。是以气体质量流量控制器在半导体设备中具有极其重要的感化。重要客户重要集中在参半导体设备制造商、各个半导体临盆FAB厂、各高等院校、科研院所、真空设备制造商等范畴和行业。

  并且跟着半导体技巧的赓续成长,市场赓续地扩年夜,对气体质量流量控制器的需求也会随之快速增长。而我国今朝半导体行业中的高端气体质量流量控制器均来自国外,往往存在着价格高,供货周期长,售后办事不及时,零配件收费昂贵等问题,严重制约了我国半导体设备及行业的成长。

  CS系列产品的推出,使我国第一次有才能临盆具有自立常识产权的气体质量流量控制器,打破了国外产品对中国的垄断。与国际同类产品比拟,不仅在价格方面具备优势,并且在产品德量、本地化快速办事方面均有较强的竞争力,是以将来产品在国表里的市场前景异常看好。

  自2009年度开端,产品进入批量临盆阶段,估计至2012年达产。达产年度实现年发卖量10000台,年发卖收入8000万元。CC

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